技术参数:
1、罐体尺寸：304不锈钢真空方形腔体，内腔容积约27L；     
2、极限真空度： 1*10-1Pa(配套鲍斯股份双级旋片真空泵带油污过滤装置)；
3、进口皮拉规：  品牌：INFICONC公司；PSG500型号；
4、射频电源，功率0～150 W可调可控。
射频频率：13.56兆赫兹；
5、充气系统包括1路气体质量流量计，以控制清洗气体的进气流量，方便气体导入；品牌：北京汇博隆;
6、真空系统 配真空泵一台带油污过滤器,型号：BSV10;抽气速度≥2升/秒,极限真空6x10^-2，工作电压220伏。品牌：鲍斯股份。真空专用放气阀、前级阀不锈钢真空波纹管;
7、PLC+触摸屏手自动控制系统。一体式机柜，喷塑处理;