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PLASMA-PD600等离子体清洗机

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产品概述:

一、等离子设备广泛应用于: 1.等离子表面活化 清洗; 2 等离子处理后粘合; 3 等离子蚀刻 活化; 4 等离子去胶; 5 等离子涂镀(亲水,疏水); 6 增强邦定性; 7 等离子涂覆; 8 等离子灰化和表面改性等场合。 等离子清洗机:是一种用于表面处理的低温等离子表面改性设备。广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料的润湿能力,是多种材料能够进行涂覆、镀等操作。等离子清洗是一种轻微的刻蚀,等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、VCD和涂覆前,用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。

详细信息
二、主要技术参数如下:
1、整机外形尺寸(约):L1000×W750×H1600(mm)外观喷塑处理;
2、反应腔尺寸:520×520×H600(mm),约150L;
3、射频电源:13.56MHz,600W;
4、设备功率:约1.5KW;
5、气体流量控制:1-2路质量流量控制器(0~500SCCM);
6、工作气体:氧、氩气,另提供一路氮气用于冷却样品(高纯,用户自备);
7、压缩空气:接口压力大于0.5MPa(用户自备);
8、真空抽气及测量系统:配备一台8L机械泵,抽气管道采用不锈钢真空波纹管,真空测量采用德国莱宝TTR91N真空规管;
9、控制方式:采用10寸触摸屏+PLC组成的人机界面控制方式,操作方式包括手动模式或自动模式,在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储100组不同配方。使用时只需将相应配方号调出即可。