电阻电子束蒸发镀膜

PD-300高真空电阻蒸发镀膜设备

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产品概述:

该系统采用大抽速分子泵准无油高真空系统,真空机电一体化设计,金属蒸发源与有机蒸发源可兼容,性价比高,操控简便。广泛应用于科研院所、实验室蒸镀电极、扫描电镜制样,以及OLED、太阳能电池研究。

详细信息
产品简述:
       PD-300高真空电阻蒸发镀膜设备,采用大抽速分子泵准无油高真空系统,真空机电一体化设计,金属蒸发源与有机蒸发源可兼容,性价比高,操控简便。广泛应用于科研院所、实验室蒸镀电极、扫描电镜制样,以及OLED、太阳能电池研究。
设备特点:
★全不锈钢真空腔室,保证系统的耐久性及操作安全性;
★分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥300L/S);
★2-4组蒸发源;兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;
★专业真空蒸发电源,恒流输出;
★最大110mm基片/15*15mmITO玻璃25片,源基距大于300mm;
★良好的薄膜均匀性和重复性,在线监测膜厚;
★更合理的气路设计及细节考虑。
技术指标:
名称 PD-300高真空电阻蒸发镀膜设备
真空室 300×300×H450mm
304不锈钢真空室,立式前开门结构;配内衬防污板。
真空系统 分子泵+机械泵
极限真空 优于5×10-5Pa
恢复真空时间 达到5×10-4Pa≤25min
金属蒸发源 2—3组蒸发源,可选。
有机蒸发源 束源炉式有机蒸发源自带控温0-500℃可调,一体化挡板可调角度(0-15°),2—3组蒸发源,可选。
电控系统 手动逻辑按钮控制或PLC触摸屏控制可选;完善的逻辑程序互锁保护及异常报警。
选配 冷却循环水机/进口膜厚监控仪/基片台加热或水冷/腔室灯烘烤/掩膜板mask/蒸发电源/钨舟钼舟
设备配电 电压:AC220V/50HZ  (380V可选)
功率:≤6KW
设备尺寸 长×宽: 1100mm×750mm×1500mm