手套箱镀膜系统

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PD-400S手套箱镀膜设备

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产品概述:

该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等产业研发专用设备;采用先进镀膜机和手套箱对接技术,广泛应用于高校、科研院所高活性材料薄膜制备研究。也可用于生产线前期工艺试验等。

详细信息
产品简述:
       该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等产业研发专用设备,广泛应用于高校、科研院所的不同材料薄膜制备研究。也可用于生产线前期工艺试验等。
设备特点:
★前后开门保证密封,前滑动开门操作轻便,气动自动锁紧;开后门装料/检修时大气不会进入手套箱环境,后门关闭时可直接通过把手锁紧密封;
★设备采用防湍流设计防止扬尘,提高膜层质量;
★温控有机蒸发源采用控温式束源炉结构挡板一体化设计保证有机材料不被污染,不仅角度可调,均匀性好还可通过进口膜厚仪联动控制实现速率精确控制、掺杂等;
★设备兼容有机/无机蒸发,多元共蒸复合膜/分蒸获得多层膜;
★蒸发源的搭配及数量可根据用户时间需要选配,性能稳定;
★样品台可升降调整源-基片距离,有效节约贵重材料,降低实验成本。
技术指标:
名称 PD-400S太阳能电池行业镀膜设备
真空室 400×400×H460mm;不锈钢方箱式前、后开门结构。
可以独立使用,也可根据客户要求与手套箱对接。
真空系统 分子泵+机械泵
极限真空 优于10-5Pa
恢复真空时间 达到9×10-4Pa≤20min
金属蒸发源 2—3组蒸发源,可选。
有机蒸发源 束源炉式有机蒸发源自带控温0-500℃可调,一体化挡板可调角度(0-15°),3—4组蒸发源,可选。
电控系统 手动按钮继电器控制,完善的逻辑程序互锁保护及异常报警。
选配 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/掩膜板mask/蒸发电源/钨舟钼舟
设备配电 电压: 380V
功率:≤6.5KW
设备尺寸 长×宽: 1350mm×900mm
型号推介 所有配置均为国产一线品牌,性能稳定可靠。