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产品概述：
该设备可选择集成磁控、离子镀、阳极层离子源等多源；适用于多种涂层制备，尤其是高端硬质涂层及防腐耐磨涂层等生产制备；可广泛用于大专院校、研究院所和企业器件研发制造及小批量生产。
| 名称 | PD-700多功能镀膜设备 |
| 腔室结构 | 不锈钢材质，立式圆柱形、前开门、双层水冷结构。 |
| 腔室尺寸 | Φ650×H700mm |
| 真空系统 | 1600L/S分子泵+机械泵 |
| 极限真空 | 优于5E-5Pa |
| 抽速 | 从大气抽到5E-4Pa时间少于45分钟（空载、除气）。 |
| 工件架 | 约Φ350mm，4～6工位公/自转工件架；可加偏压。 |
| 工件烘烤温度：室温～500±5℃ 可调可控（PID控温） | |
| 工件架转速：0-20RPM可调 | |
| 阴极 | 矩形磁控靶、圆形平面靶、多弧靶（可选）。 |
| 离子源 | 阳极层离子源及电源 |
| 电源 | 直流、中频、射频磁控溅射电源 可选；弧电源可选；负偏压电源可选。 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏半自动控制/PC全自动控制 |
