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产品概述：
该系统由我公司和国内金刚石领域专家联合开发。具有结构合理、使用方便、性能先进、安全可靠等特点。特别适合应用于金刚石等多种薄膜的生长制备；材料表面处理和改性；以及低温氧化物的生长等高科技领域。
| 名称 | PD-MW200微波等离子体化学气相沉积设备 |
| 微波功率 | 100W～1kW连续可调，最高大功率可达1kW；稳定度优于±1％。 |
| 微波的反应腔 |
尺寸和工作模式：φ88mm×250mm ；铝真空腔，带水冷结构；
调节功能： 耦合波导短路活塞： L2 0～120mm；耦活探针深度： L3 0～20mm。
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| 均匀生长区尺寸 | φ16mm |
| 气路系统 | 3路MFC控制。 |
| 真空系统 | 极限真空：0.5pa;机械泵+阀门+电阻真空计+压敏真空计。 |
| 选配件 | 1循环水机 V>4L/min； 2.稳压电源 功率5KW 若实验室电压不稳定需配备； 3. 红外测温仪 量程：室温至1500℃。 |
