1：真空镀膜机抽真空时压力反弹是什么原因
答常见原因有：1）可能是扩散泵出现问题或者前级泵的工作压力降了，导致无法排尽气体；2）检查机械是否有问题，影响泵组或者泵组真空不足，可以加个逆止阀;3)检查扩散泵顶端帽子四周间隙是否对称。
2：旋片泵太容易坏是什么原因,
答1:可能是未做保养导致灰尘太多。真空镀膜设备在镀膜过程中容易产生大量灰尘，这些灰尘伴随空气容易混杂到泵油中，时间久了容易对转子及泵腔造成磨损及破坏。处理方法：如果灰尘不多，可以油过滤系统除掉灰尘；如果灰尘过多可以用除尘器配合油过滤系统除掉灰尘。
3：真空镀膜机测试漏气的方法
答：1）低真空时用火花检漏仪；2）高真空时用真空检漏仪;3)两种方法花费较高，最简单方法用针灌满乙醇向连接口处喷，观察真空计的指数，有变化则漏气