等离子体清洗机

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PD-100等离子清洗机

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产品概述:

该设备体积小、操作简单、清洗效果显著且耗时少等优点,;非常适合实验室用于处理硅片、玻璃等原样;通过等离子撞击 刻蚀除去材料表面的有机物、无机物、氧化物等从而得到新鲜的界面。

详细信息
产品简述:等离子清洗机是一种表面处理设备, 用气体作为处理介质,它是利用能量转换技术以电能将气体转换为化学反应性和活性很高的气体等离子体,等离子体对固体样品表面进行相互作用,引起分子结构改变,从而对样品表面的有机污染物进行超清洗和使样品表面改性,以获得希望的表面特性。
      等离子清洗机由真空腔体、等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。基本原理:利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度,在真空腔体内,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体。,通过等离子体轰击被清洗产品表面,以达到清洗的目的。
       等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光,材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
设备特点:
★设备体积小巧,操作简单,非常适合实验室表面处理应用;
★完全彻底地清除表面有机污染物;
★清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低;
★非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害;
★绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染;
★常温条件下清洗,被清洗物的温度变化微小;
★能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。
技术参数:
设备型号 PD-100等离子体清洗机
清洗室 304不锈钢材料,圆柱式,门上配有观察窗;内净尺寸约为:直径150*H220mm;
真空系统 机械泵/干泵抽气速度≥2升/秒+高真空阀门;
真空极限 优于5×10-1Pa; 抽速:从大气抽至10-1Pa≤10min;系统漏率复合国家标准
处理台 清洗均匀区域承载最大120*200mm方形基片;
清洗电源 功率0~100 W,数显;
数字式功率表,方便判断工作中的功率大小;
充气系统包括2路流量计,含进气针阀以控制清洗气体的进气流量,方便多种种不同气体按比例混合;
真空测量 配备高精度数字式真空计、规管。
控制方式 手动逻辑按钮控制或PLC触摸屏控制可选;完善的逻辑程序互锁保护及异常报警;
选配 射频清洗电源/干泵/流量计
设备配电 电压:AC220V/50HZ
功率:2.5KW
设备尺寸 长×宽×高:500*360*380mm