设备特点：
★ 溅射设备前开门嵌入手套箱中，当前开门滑开，蒸镀设备工作室与手套箱操作间即为一体，因此不需要借助传递工具或者破空来转移试验样品；
★J溅射腔体采用SUS 304不锈钢材料，腔体内表面包括屏蔽板全部镜面抛光，可以获得洁净的工作环境和良好的真空度；
★ 真空获得采用大抽速分子泵+直联旋片泵（内置防返油止逆阀）准无油真空系统，其中主泵采用1200L/s抽速复合分子泵，标配旁抽结构，可不停主泵开启真空室；
★ 溅射室真空极限优于2.0×10-5Pa，1～2h即可抽到9.9×10-5Pa；
★ 溅射靶“品”字形可配备2-3英寸（2-3支靶）配备独立挡板；
★ 溅射电源；2-3台(直流、射频可选)；
★ 系统可选择配备低气压溅射技术，制备薄膜致密，对基底损伤小。
★ 操控系统：西门子PLC+触摸屏，程序互锁、防误操作、简单易学。

技术支持&服务：
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。