金刚石沉积真空设备领域_武汉普迪真空科技有限公司

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PD-450/650Z直流等离子喷射化学气相沉积设备

产品摘要

该设备主要用于开发高品质、大面积生长金刚石厚膜产品主要用作砂轮修整工具坯料、拉丝模芯坯料、光学窗口、散热衬底等工业应用领域。该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及科技型生产型企业前期探索性实验及开发优质金刚石厚膜新产品。

产品介绍

设备特点：

★PLC+触摸屏方式，完善的逻辑互锁保护功能

★机架上方安装红外测温仪固定装置，固定测温仪位置，可方便升降

★该设备可成功制备直径达φ85mm厚度0.1-4mm大面积高质量金刚石膜

设备参数：

★真空腔室：圆柱型固定式真空腔体约为Ф400mm×H500mm/Ф650mm×H500mm

★生长台：沉积台为80mm，高度为110mm/沉积台为100mm，高度为110mm

★抽速：从大气抽至 1Pa≤20min

PD-450/650Z直流等离子喷射化学气相沉积设备

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