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设备特点：
★全不锈钢真空腔室，保证系统的耐久性及操作安全性；更合理的气路设计及细节考虑
★更的小体积，系统采用模块化设计可扩展性高在保证系统稳定性的前提下，进一步优化您的实验室利用空间。
★系统采用机械泵+进口分子泵组成高真空系统，抽到工作高真空仅需15-20min，节省实验时间。
设备参数：
★腔体尺寸（L×W×Hmm)：Φ260×H350(圆柱型）
设备尺寸（L×W×Hmm)：500×360×750（500×360×420）
★真空极限：优于（5E﹣05）Pa
抽速保压：（8E﹣04）Pa≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）
★基片台：80mm×80mm
★蒸发源：可搭配1～2组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发
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