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设备特点：
★广泛应用于蒸发金、银等贵金属材料的电极制备，适合半导体剥离工艺，节省蒸镀材料
★系统配置上配备了脂润滑无油分子泵可任意角度安装，缩短抽气管道提高了抽速，节约样品制备时间
★可升级不停泵放气功能，可实现全自动控制功能
设备参数：
★腔体尺寸（L×W×Hmm)：300×300×400
设备尺寸（L×W×Hmm)：500×750×1800
★真空极限：优于（5E﹣05）Pa
抽速保压：（8E﹣04）≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）
★基片台：100mm×100mm
★蒸发源：可搭配2～4组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发
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