蒸发镀膜仪是一种在真空环境中,通过加热使材料蒸发并沉积到目标表面形成薄膜的设备,它在前沿科研和工业制造中都有广泛且关键的用途。本设备是我公司研发用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜的多功能桌面型仪器。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。
设备参数:
★真空室:∅220mm*H380mm(可选石英腔体或不锈钢腔体);
★最大可镀工件直径:DN100mm,配卡口或抽查式样品台,样品可旋转;另配备铜基板样品台;
★极限真空度:优于5*10-5Pa(机械泵系统)、优于8*10-5Pa(分子泵系统);
★抽气时间:大气压~6*10-4Pa小于300min;
★蒸发源:电阻式蒸发电极(1对),配挡板系统;
★蒸发电源 功率:2KW;配备1套数显蒸发电源;
★开启方式:正面开门结构或钟罩开启,便于换丝及装料;
★真空系统:机械泵真空系统(机械泵+分子泵系统选配);
★标配PLC+触摸屏控制。


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