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等离子体刻蚀\清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在等离子电源作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。等离子电源提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
设备参数：
★罐体尺寸：Φ190×200深,高纯石英腔体；
★等离子体激发方式：ICP、CCP模式可选；
★极限真空度： 9*10-1Pa(配套双级旋片真空泵，可选涡旋干泵)；
★电源，功率0～150 W，数显（13.56MHz射频、40KHz中频可选）；
★充气系统质量流量控制器一台及排空阀一套；
★真空系统 配真空泵一台，抽气速度≥2 升/秒 ，极限真空9x10-1，工作电压220伏。真空专用电磁角阀、充气阀、不锈钢真空波纹管、高精度数字式真空计、规管。
★控制系统：采用触摸屏全自动控制
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